東京精密輪廓測量機SURFCOM NEX030

輪廓測量 高精度傳感器　NEX 040 E-DT-CH19B 實現測力自動調整機構的高精度傳感器 搭載了新型激光衍射光柵尺的高精度傳感器，全范圍的測量分辨率為0.02μm。Z軸測量 范圍為60 mm，在快速更換測臂機構上更添加了測力自動調整機構?？蛇x 配上下同時測量 測量分辨率　0.04 μm （全量程） 指示精度　　±（1.5 + |2H|/100） μm 測量分辨率　0.02 μm （全量程） 指示精度　　±（0.8 + |2H|/100）μm